प्रक्रम प्रौद्योगिकी

स्मार्ट प्रणालियों में स्वचालन, नियंत्रण और मार्गदर्शन के लिए संबद्ध इलेक्ट्रॉनिकी के साथ-साथ संवेदक और एक्चुएटर अंतर्निहित रूप से शामिल होते हैं। एमएसटी/एमईएमएस प्रौद्योगिकी में उन्नति के बाद ही लघु रूप में निर्मित विभिन्न संवेदकों और एक्चुएटरों को मूर्तरूप प्रदान किया जा सका है। इस समूह का अनुसंधान फोकस सूक्ष्मसंवेदकों और एक्चुएटरों के सभी पहलुओं का तकनीकी विकास करना है। इसमें नई सामग्रियों, प्रक्रियाओं, संरचनाओं और प्रक्रिया एकीकरण का विकास शामिल है। इस समूह की मुख्य शक्ति बल्क माइक्रोमशीनिंग तकनीक (सूखा और गीला दोनों), यूवी-एलआईजीए तकनीक और वेफर बॉन्डिंग तकनीक हैं। प्रौद्योगिकी विकास में समूह का मुख्य फोकस इसे सीएमओएस के अनुकूल बनाना है ताकि स्मार्ट प्रणालियाँ प्राप्त करने के लिए पोस्ट प्रोसेस माइक्रोमशीनिंग किया जा सके। यह समूह अन्य सभी समूहों /तकनीकी कार्यक्षेत्रों को आवश्यकतानुसार तकनीकी सहायता प्रदान करने के लिए भी ज़िम्मेदार है।